卓越光华程序是基于SEMI SECS/GEM标准的通讯开发工具软件，提供灵活高的二次开发接口，可使用户在最短的时间内实现半导体设备与主机间的通讯，支持HSMS（E37），SECS-II，GEM。
DCS系统是面向车间设备层的管理系统，是企业生产管理系统集成框架的基础，是实施企业智能制造战略的基本支撑平台。
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