产品概述
卓越光华程序是基于SEMI SECS/GEM标准的通讯开发工具软件，提供灵活高的二次开发接口，可使用户在最短的时间内实现半导体设备与主机间的通讯，支持HSMS（E37），SECS-II，GEM。方案框架如图所示：
控制面板主界面
系统功能介绍
半导体数字化价值
0512-57913665
sunny.shen@szzygh.cn
江苏省昆山市黄河南路323号新鼎岸商务大厦12F
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